上野金属株式会社|電機炉|乾燥機|真空電機炉|製造・設計・販売|大阪府枚方市

適用規格: JIS Q 14001 : 2015 (ISO 14001:2015)
 
適用する製品、プロセス又はサービス:
電気炉、乾燥機、ヒーターユニット、真空装置の製造、販売及び付帯サービス
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上野金属株式会社
〒573-0071
大阪府枚方市茄子作5-991
TEL.072-853-8801
FAX.072-852-6037
014638
 

製品紹介

 

除害装置

除害装置
 
半導体製造関連排気ガスの高性能加熱分解装置

概要 | 特徴 | 模式図 | 仕様
 
概 要
   本装置は、小・中量の半導体製造関連排気ガス処理を効率よく行え、既設除害装置とも併用しやすくランニングコストの低減も期待できる。構造は、酸化加熱分解と乾式吸着の両システムを基本としている。装置に導入された排気ガス中にあらかじめ空気を混合し酸化、加熱器にて酸化促進、分解を行い、ほとんどの水素化物を除害する。この後高温のガスを冷却し、酸化により生じた副生成物はフィルターにて捕集する。下流には乾式除害筒を配し、残留ガスがある場合は除害させる。乾式除害筒は、加熱システムの不具合メンテナンスなどにも対応させるシステムとしている。
 
 
 1999年9月21日からの3日間、長浜ドームで開かれました
「滋賀環境ビジネスメッセ`99」が無事終了いたしました。

台風接近のため、搬入日と2日目は大雨や雷に見舞われましたが、
最終日の3日目は天気にも恵まれ、ドームの天井から日が射し込む中、
人いきれと暑さで会場はすごい熱気に包まれました。
3日間の入場者総数は45,000人を越えたとうかがっております。
おかげさまで、当社が龍谷大学大柳研究室と共同で出品しました
「半導体用排ガスの除害装置(=酸化加熱分解式除害装置)」も、
連日多数のお客様にご覧いただくことができました。
滋賀県、長浜ドーム、ビジネスメッセのスタッフ、龍谷大学の皆様、
そして、ご来場下さいました多数の皆様、どうも有り難うございました。

「滋賀環境ビジネスメッセ’99」の会場写真
 
 
特 徴
    1.  構造がシンプル。
    2.  運転が容易で、ある程度の処理流量変更にも対応可能。
    3.  処理方法に応じ、内蔵機器のレイアウトが比較的自由。
    4.  既設装置との組み合わせが容易で、
                   ランニングコスト低減効果が大きい。
    5.  間接加熱のため、停電、ヒータートラブルなどの
                        不意のアクシデントに強い。
    6.  保守、点検が比較的容易であり、維持費も安価、
                         フィルターは選定条件により再生使用可能。
    7.  ドライ冷却構造のため、冷却水、排水などの工事不要。
    8.  すべて電気による制御のため、安全システムを充実させられる。
 
仕 様
   
     項目                      仕様        備考
1処理対象ガス主にSiH4水素化物系ガス
2処理量1.0 ~ 2.0 litter/min希釈後導入
総処理風量 170 ~ 350 litter/min
生産装置排気希望条件: 粉体無 オイル無
3ユーティリティ
3-1電気3φ AC200V 
ヒーター関係 6.0 ~ 10.0kW
電気制御 1.0 ~ 3.5kW
3-2窒素ガスパージ、機密テスト、弁駆動、冷却
粉体払い落とし用 100 litter/min(Max)
供給圧力 5kg/cm2以上
3-3ドライエアー排ガス酸化用 50 litter/min(Max)
供給圧力 5kg/cm2以上
外気吸引の場合、フィルター取付
4装置本体
4-1概略寸法1500W × 1000D × 2000H ~
4-2材質SS400
4-3塗装色貴社御指定色
4-4換気ダクトφ150 ~ 200 1個 ダンパー付(筐体換気)
4-5排熱ダクトφ100 1個 ダンパー付(冷却器、ヒーター)御打ち合わせにより
4-6配管取合
4-6-a排ガス入口NW32/40 ~ 63
4-6-b排気出口NW32/40 ~ 63
4-6-c窒素ガス入口3/8 ~ 1/2 SWAGELOK
4-6-dドライエアー3/8 SWAGELOK
4-7主要機器
4-7-a加熱器シーズヒーター、ノズル付ヒートパイプ
制御用T/C 外表面強制空冷
4-7-b冷却器強制空冷型 冷却フィン付SUSパイプ集合構造
T/C ノズル付
4-7-c粉体捕集フィルターカートリッジエレメント型 捕集粒子径 5 ~ 10μm
逆洗機構、点検用フランジ キャスタータイヤ付
4-7-d除害筒御支給願います。(希望継手 NW32/40~)御打ち合わせにより
4-7-e排気ポンプ3φ AC200V 風量450 ~ 800 litter/min 
                             (負圧運転制御)

御打ち合わせにより
5電気制御盤タッチパネル式シーケンサー制御
SCRヒーター制御 計装機器制御
   各種安全制御及び警報回路

除害筒、排気ポンプ内蔵の場合、
   外観寸法その他仕様が異なります。
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