概要

除害装置

概要

除害装置とは、半導体製造関連排気ガスの高性能加熱分解できる装置です。

本装置は、小・中量の半導体製造関連排気ガス処理を効率よく行え、既設除害装置とも併用しやすくランニングコストの低減も期待できます。

構造は、酸化加熱分解と乾式吸着の両システムを基本としています。装置に導入された排気ガス中に、あらかじめ空気を混合し酸化、加熱器にて酸化促進、分解を行い、ほとんどの水素化物を除害することができます。

この後高温のガスを冷却し、酸化により生じた副生成物はフィルターにて捕集し、下流には乾式除害筒を配し、残留ガスがある場合は除害します。

乾式除害筒は、加熱システムの不具合メンテナンスなどにも対応させるシステムです。

特長

1.構造がシンプル。

2.運転が容易で、ある程度の処理流量変更にも対応可能。

3.処理方法に応じ、内蔵機器のレイアウトが比較的自由。

4.既設装置との組み合わせが容易で、ランニングコスト低減効果が大きい。

5.間接加熱のため、停電、ヒータートラブルなどの不意のアクシデントに強い。

6.保守、点検が比較的容易であり、維持費も安価、フィルターは選定条件により再生使用可能。

7.ドライ冷却構造のため、冷却水や排水などの工事不要。

8.すべて電気による制御のため、安全システムを充実させられる。

仕様

	項目	仕様	備考
1	処理対象ガス	主にSiH4	水素化物系ガス
2	処理量	1.0 ～ 2.0 litter/min	希釈後導入
				総処理風量　170 ～ 350 litter/min
				生産装置排気希望条件：粉体なし、オイルなし
3	ユーティリティ
3-1	電気	3φ　AC200V
				ヒーター関係　6.0 ～ 10.0kW
				電気制御　1.0 ～ 3.5kW
3-2	窒素ガス	パージ、機密テスト、弁駆動、冷却
				粉体払い落とし用　100 litter/min（Max）
				供給圧力　5kg/cm²以上
3-3	ドライエアー	排ガス酸化用　50 litter/min（Max）
				供給圧力　5kg/cm²以上
				外気吸引の場合、フィルター取付
4	装置本体
4-1	概略寸法	1,500W × 1,000D × 2,000H ～
4-2	材質	SS400
4-3	塗装色	貴社御指定色
4-4	換気ダクト	φ150 ～ 200 1個　ダンパー付（筐体換気）
4-5	排熱ダクト	φ100 1個　ダンパー付（冷却器、ヒーター）	お打ち合わせにより
4-6	配管取合
4-6-a	排ガス入口	NW32/40 ～ 63
4-6-b	排気出口	NW32/40 ～ 63
4-6-c	窒素ガス入口	3/8 ～ 1/2 SWAGELOK
4-6-d	ドライエアー	3/8 SWAGELOK
4-7	主要機器
4-7-a	加熱器	シーズヒーター、ノズル付ヒートパイプ
4-7-a	加熱器			制御用T/C　外表面強制空冷
4-7-b	冷却器	強制空冷型　冷却フィン付SUSパイプ集合構造
4-7-b	冷却器			T/C　ノズル付
4-7-c	粉体捕集フィルター	カートリッジエレメント型　捕集粒子径　5 ～ 10μm
4-7-c	粉体捕集フィルター			逆洗機構、点検用フランジ　キャスタータイヤ付
4-7-d	除害筒	支給をお願いします（希望継手　NW32/40～）	お打ち合わせにより
4-7-e	排気ポンプ	3φ　AC200V　風量450 ～ 800 litter/min（負圧運転制御）	お打ち合わせにより
5	電気制御盤	タッチパネル式シーケンサー制御
5	電気制御盤			SCRヒーター制御　計装機器制御、各種安全制御及び警報回路
※		除害筒、排気ポンプ内蔵の場合、外観寸法その他仕様が異なります。

滋賀環境ビジネスメッセ

1999年9月21日からの3日間、長浜ドームで開かれた「滋賀環境ビジネスメッセ｀99」が無事終了しました。

台風接近のため、搬入日と2日目は大雨や雷に見舞われましたが、最終日の3日目は天気にも恵まれ、ドームの天井から日が射し込む中、人いきれと暑さで会場はすごい熱気に包まれました。3日間の入場者総数は45,000人を越えたとうかがっています。
おかげさまで、当社が龍谷大学大柳研究室と共同で出品しました。
「半導体用排ガスの除害装置（=酸化加熱分解式除害装置）」も、連日多数のお客様にご覧いただくことができました。
滋賀県、長浜ドーム、ビジネスメッセのスタッフ、龍谷大学の皆様、そしてご来場くださいました多数の皆様、どうもありがとうございました。